Possibilities of application of phase identification by electron backscatter diffraction for determination of phase composition of multilayer scales

In this paper the application of electron backscatter diffraction for the phase identification of complex layers is presented. The obtained results were compared with results of X-ray diffraction and EDS X-ray microanalysis obtained for the same layer. The conducted research shows that X-ray diffraction not always gives full description of the examined layers (especially when layers are relatively thick). Also X-ray microanalysis does not assure full description of the examined layers, since in most cases the phases are disequilibrium. Identification of particular phases can be obtained by electron backscatter diffraction. It appears that presently combination of the three research techniques provides the most complete description during examination of layers.

---

W pracy przedstawiono zastosowanie dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych do identyfikacji fazowej warstw o złożonej budowie. Otrzymane wyniki porównano z wynikami dyfrakcji rentgenowskiej oraz mikroanalizy rentgenowskiej EDS uzyskanymi dla tej samej warstwy. Z przeprowadzonych badań wynika, że dyfrakcja rentgenowska nie zawsze daje pełny opis badanych warstw (szczególnie gdy warstwy są stosunkowo grube). Także mikroanaliza rentgenowska nie daje pełnego opisu badanych warstw m.in. dlatego, że w wielu przypadkach fazy wchodzące w ich skład są fazami nierównowagowymi. Identyfikację poszczególnych składników fazowych można uzyskać za pomocą dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych. Wydaje się, że w chwili obecnej połączenie tych trzech technik badawczych daje najpełniejszy opis podczas badania warstw.