Measurement uncertainty and MEMS

To ensure interchangeability and make bulk production viable for MEMS, measurement uncertainty has to be taken into account. In Micro- and Nanometrology there still is a lack of models and procedures on how to analyze and interpret the tasks and influences. Additionally, the basic mechanisms currently known are insufficiently examined. The presentation will highlight problems and obstacles specific for determining measurement uncertainty in this field.

---

W celu zapewnienia zamienności wymiarowej i umożliwienia masowej produkcji MEMS, trzeba wziąć pod uwagę niepewność pomiaru. W mikro-i nanotechnologii wciąż brak jest modeli oraz procedur analizy i interpretacji zadań i wpływów. Ponadto znane dziś podstawowe mechanizmy są niewystarczająco przebadane. Artykuł uwypukla specyficzne problemy i przeszkody przy określaniu niepewności pomiaru w tym obszarze.