Mikro-Elektro-Mechaniczne Systemy Mikrofalowe

W ciągu ostatniej dekady nastąpiłbardzo duży postęp technologii mikromechanicznych systemów mikrofalowych i wielkiej częstotliwości powiązany z bardzo szybkim rozwojem komercyjnej komunikacji bezprzewodowej. Wykorzystanie technologii MEMS pozwoli na rozwiązanie szeregu uciążliwych problemów występujących w technologii monolitycznych mikrofalowych układów scalonych stosowanych w subsystemach mikrofalowych i wielkiej czestotliwości dla radiokomunikacji osobistej i ruchomej. Artykuł niniejszy prezentuje aktualny stan techniki MEMS. Omawiane są budowa i właściwości takich przyrządów MEMS jak: kondensatory o zmiennej pojemności, spiralne indukcyjności planarne o dużych dobrociach, specjalne linie transmisyjne o małych stratach, mikroprzełączniki sygnałów wielkiej częstotliwości, miniaturowe rezonatory i filtry na fale milimetrowe oraz mikrorezonatory elektromechaniczne o bardzo dużych dobrociach.

---

In the past decade mocrowave and RF microelectromechanical systems technology has advanced significatly through the rapid growth of commercial wireless communications. The use of MEMS technology promises to solve some of the most vexing prblems still confronting microwave and RF monolithic integrated circuit technology for personal and mobile communication subsystems. This paper provides a present day view of this field. Among the specific devices described are variable micromachined low-loss transmission lines, low-loss micromachined switches, microscale vibrating mechanical resonators and miniature band-pass filters for microwave and milimeter-wave applications.