Zastosowanie rezonatora kwarcowego z akustyczną falą powierzchniową i warstwy azotku tytanu do wykrywania amoniaku

Przedstawiono wpływ warstwy azotku tyatanu (TiN) na parametry rezonatora kwarcowego z akustyczną falą powierzchniową (AFP). Na częstotliwości około 196MHz i dla grubości warstwy TiN około 0,1 μm, uzyskano tłumienność wtrąceniową około 22 dB i dobroć obciążonego rezonatora około 10 000. Badania wpływu adsorpcji i desorpcji amoniaku na zmiany częstotliwości rezonatora badano w atmosferze suchego azotu. Stwierdzono, że częstotliwość rezonatora wzrasta w wyniku adsorpcji amoniaku (NH3). Jest to przypuszczalnie spowodowane wzrostem sztywności mechanicznej warstwy TiN. Ze wstępnych badań wynika, że rezonator kwarcowy z AFP i warstwa TiN mogą znaleźć zastosowanie w czujnikach amoniaku.

---

Effect of titanium nitride (TiN) layer on a surface acoustic wave (SAW) guartz resonator parameters is presented. At a frequency of about 196 MHz and for TiN layer thickness of about 0.1 μm, insertion loss of about 22 d Band loaded quality factor of about 10 000 were obtained. Effect of ammonia adsorption and desorptipn on the resonator freguency changes were investigated in a dry nitride atmosphere. It was found that, as a result of ammonia adsorption, the resonator frequency was increased. It was probably caused by an increase of the TiN layer mechanical stiffness. From the preliminary investigations it follows that quartz SAW resonator and TiN layer can find application in ammonia sensors.