Sterowanie MBS termicznym procesem próżniowej selenizacji warstw fotowoltaicznych

W pracy przedstawiono procedurę sterowania procesem termicznym w próżniowym urządzeniu RTP (Rapid Thermal Processing) do selenizacji warstw prekursorów CIS. Zastosowano podejście MBS (Model Based Steering) oparte na modelu matematycznym nieliniowych zjawisk radiacyjnego transportu ciepła. Zbudowana komora procesowa, metody pomiaru temperatury oraz realizowana trajektoria sterowania spełniają wymagania procesu selenizacji.

---

This paper presents the procedure of thermal process Steering in vacuum RTP (Rapid Thermal Processing) device used for the selenisation of CIS precursor layers. MBS (Model Based Steering) approach, based on mathematical model of nonlinear radiative heat transfer, was applied. Constructed process chamber, methods of temperature measurement and generated Steering trajectory are meeting the requirements of the selenisation process.