Badanie niejednorodności warstwy ceramiki PLZT metodami optycznej interferometrii niskokoherentnej

W artykule omówiono metodę badania wewnętrznej struktury materiałów ceramicznych z wykorzystaniem interferometrii niskokoherentnej. Przedstawiono układ pomiarowy optycznej tomografii koherentnej, wykorzystujący niskokoherentny interferometr do badania niejednorodności występujących w strukturze ośrodków rozpraszających. Zaprezentowano wyniki pomiarów grubości i niejednorodności ceramicznych warstw PLZT. Przeprowadzono rozważania nad możliwościami wykorzystania niskokoherentnych interferometrycznych technik pomiarowych do kontroli i optymalizacji procesów wytwarzania ceramicznych warstw PLZT.

---

In this article we describe an optical method for inside materials investigation, which is based on low-coherence interferometry (LCI). The experimental LCI system applied in optical coherence tomography (OCT) for non-destructive and non-contact examination of materials inner inhomogeteities is presented. The test results of PLZT ceramics investigation are shown as well as brieff discussion about OCT capability for on-line control of PLZT ceramics manufacturing process.