Automatyczny prober do precyzyjnych pomiarów właściwości elektromagnetycznych materiałów przy częstotliwościach mikrofalowych

W pracy omówiono budowę i zastosowania specjalizowanego probera do pomiarów rezystywności i przenikalności dielektrycznej. Prober pozwala na bezkontaktowe pomiary i mapowanie rezystywności płytek półprzewodnikowych. Zastosowana metoda mikrofalowa umożliwia uzyskanie niskiej niepewności pomiarowej w szerokim zakresie mierzonych rezystywności. Może być używana w pomiarach grafenu oraz półprzewodników różnych rodzajów, z węglikiem krzemu włącznie.

---

The paper describes design and applications of a specialized prober for measurements of resistivity and dielectric permeability. The prober enables contactless measurements and mapping of semiconductor wafers resistivity. Application of microwave method makes possible to obtain low measurement uncertainty at wide range of measured resistivity. It could be used for measurements of graphene and SiC semiconductors.