Właściwości optyczne i strukturalne warstw elektrochromowych WO₃

Warstwy elektrochromowe są przedmiotem zainteresowania ze względu na szeroką gamę potencjalnych zastosowań w elektronice, architekturze oraz szeregu dziedzin, gdzie stosuje się filtrację promieniowania elektromagnetycznego w obszarze widzialnym. W pracy opisano technologię nanoszenia warstw WO₃ metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego przy częstotliwości 13,56 MHz. Przedstawiono ich właściwości optyczne i strukturalne, a w szczególności zmiany tych własności w wyniku wygrzewania warstw amorficznych.

---

Electrochromic thin films are intensively investigated due to their potential application in electronics, architecture and in all fields where filtering of electromagnetic radiation in the visible range is important. A reactive magnetron deposition with a RF of 13.56 MHz is described. Optical and structural properties of WO ₃ thin films are described for as deposited and annealed films.