Piezoelektryczny napęd membran krzemowych

Scharakteryzowano piezoelektryczny napęd służący do wymuszania ruchu membrany krzemowej. Na podstawie otrzymanych wyników skonstruowano oraz zbadano model zaworu gazowego aktywowanego elektrycznie oraz model mikropompki cieczowej.

---

Piezoelectric actuation of silicon membrane was investigated. On this basis, gas silicon valve and fluid micropump were designed and results of measurements are reported.