Imaging internal defects in thyristor structures

The paper presents results of imaging internal defects in silicon-aluminum-molybdenum high-power thyristor structures. Different measuring techniques were used for imaging defects. Non-destructive investigation of structures was performed using scanning acoustic microscopy (SAM) and thermal wave methods (a photoacoustic method with harmonic excitation and an infrared method with induction heating). Destructive investigation was also performed for imaging a cross-section of areas with defects with the help of scanning electron microscopy (SEM). A comparison of images obtained using different measuring methods was presented.

---

Artykuł prezentuje wyniki obrazowania defektów wewnętrznych w strukturach krzem-aluminium-molibden stosowanych do produkcji tyrystorów dużej mocy. Do obrazowania defektów wykorzystano różne techniki pomiarowe. Badania nieniszczące struktur przeprowadzono przy użyciu skaningowej mikroskopii akustycznej (SAM) oraz metod termofalowych (metody fotoakustycznej z pobudzeniem harmonicznym i metody termowizyjnej z grzaniem indukcyjnym). Wykonano również badania niszczące w celu zobrazowania za pomocą skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM) przekroju obszarów zawierających defekty. Przedstawiono porównanie obrazów otrzymanych różnymi metodami pomiarowymi.