Porównawcze charakterystyki sensorów typu rezystancyjnego i termoelektrycznego wykonanych na bazie cienkich warstw dwutlenku cyny

Porównano charakterystyki cienkowarstwowych sensorów typu rezystancyjnego i termoelektrycznego na bazie dwutlenku cyny. Zbadano wpływ temperatury i koncentracji tlenu na przewodnictwo i siłę termoelektryczną. Pokazano, że zastosowanie sił termoelektrycznych w charakterze mierzonego sygnału pozwala udoskonalić charakterystyki pomiarowe sensorów gazów.

---

Comparative characteristics of resistive and thermoelectric thin film sensors based on tin dioxide have been investigated. The influence of temperature and oxygen concentration on electrical conductivity and thermoelectric force of films was investigated. It has been shown that the application of thermoelectric force as measured signal makes possible to enhance measuring characteristics of gas sensors.