Emisyjność w podczerwieni materiałów stosowanych w mikroelektronice

W pracy przedstawiono własności promienne materiałów stosowanych w mikroelektronice, w tym półprzewodników, dielektryków i metali. Wyniki pomiarów emisyjności spektralnej krzemu, germanu, aluminium, warstw diamentopodobnych oraz ceramiki alundowej mogą być wykorzystane do termografii i modelowania złożonej wymiany ciepła.

---

This paper presents radiation characteristics and IR emissivity measurements for materials used in electronics, eg.: aluminium, silicon, germanium and diamond-like structures, alumina. The measurements of emissivity for semitransparent and multilayers dielectric materials performed with the use of IR Spectrometer are presented. For every sample the reflected and transmitted energy is measured, and material constants for various spectral ranges are evaluated. The results of this work may be useful both in modelling heal removal by radiation in microelectronic devices and in thermography.