Modelowanie wiroprądowego przetwormika do pomiaru konduktywności cienkich warstw przewodzących

W artykule przedstawiono sposób modelowania wiroprądowego przetwornika do pomiaru konduktywności cienkich warstw przewodzących. Zaprezentowano wyniki symulacji oddziaływania warstw, o założonych właściwościach fizycznych, na system pomiarowy.

---

In this article modelling of eddy current sensor for conductivity measurement of thin conductive layers has been presented. The layers which have assumed physical properties have an influence on the measuring system. The results of simulation were discussed.