Element depth profiling of implanted samples

Nuclear techniques, namely Rutherford Back Scattering (RBS) and Elastic Recoil Detection (ERD) have been used in the analysis of the implanted samples. The sensitivity of the RBS method depends on the atomic number of the implanted elements as Z[indeks górny]2. Thus, there is a possibility of measuring very low concentrations of heavy ions implanted in a light matrix. The depth profile of oxygen was obtained using elastic resonance in the nuclear reaction 16O(4He, 4He)16O at 3.045 MeV of 4He ions. The ERD technique was applied to obtain the depth profile of hydrogen. Some problems concerning the roughness of the implanted samples are discussed as well.

---

Do badań implantowanych próbek użyto metod jądrowych opartych na efekcie rozpraszania wstecznego Rutherforda (RBS) i elastycznego odrzutu (ERD). Czułość metody RBS zmienia się wraz z liczbą atomową Z implantowanego pierwiastka, jak Z[indeks górny]2, co daje możliwość pomiaru nawet bardzo niewielkiej koncentracji ciężkich, implantowanych do lekkich tarcz, jonów. W przypadku głębokościowych rozkładów koncentracji tlenu do badań zastosowano rezonansową reakcję jądrową 16O(4He, 4He)16O dla jonów 4He o energii 3.045 MeV. Natomiast technikę ERD zastosowano w badaniach głębokościowych profili wodoru. W pracy omówione są także pewne problemy związane z chropowatością warstw implanowanych próbek.