Metrologia urządzeń mikroprzepływowych

W artykule przedstawiono problemy związane z metrologią urządzeń mikroprzepływowych. Podano przykłady metod pomiarowych w mikroskali: mikroskopia optyczna, skaningowa (SEM), konfokalna, sił atomowych (AFM), interferometria. Scharakteryzowano dostępne programy numeryczne umożliwiające symulacje, jak również technikę mikroPIV umożliwiającą pomiary mikroprzepływów.

---

Problems associated with the metrology of microfluidic devices are discussed. Examples of measurements in micro-scale such as optical, scanning (SEM), confocal, atomic force microscopy (AFM) and interferometry are presented. The codes enabling computer simulations as well as microPIV technique allowing measurements of microflows are described.