Zastosowanie laserów włóknowych w elektronice i technice mikrosystemów

Przedstawiono wybrane wyniki zastosowania lasera włóknowego w wytwarzaniu elementów mikrosystemów i biernych elementów elektroniki o submilimetrowych wymiarach z materiałów półprzewodnikowych, ceramicznych i przewodzących. Technologie laserowe w tej skali wykorzystują ablacyjne oddziaływanie wiązki laserowej. Optymalizowanie procesów w dużej mierze było wspierane modelowaniem komputerowym. Wyniki potwierdzają możliwość precyzyjnej mikroobróbki za pomocą lasera generującego impulsy nanosekundowe.

---

Selected results of the use of fiber laser for producing elements of microsystems and passive electronic elements of submillimeter dimensions in semiconductor, ceramic and conductive materials are presented. Laser technology at this scale uses ablative interaction of laser beam. Optimization of processes was significantly supported by computer modelling. The results confirm the possibility of precise micromachining using a laser with nanosecond pulses.