Tytuł pozycji:
Two-dimensional modeling RF glow discharge at low pressure
This paper presents a contribution to understand the fundamental properties of RF glow discharge based on numerical modeling. A fluid model with two dimensional based on the first three moments of Boltzmann equation, coupled with Poisson’s equation is used in this work. This equation system is written in cylindrical coordinates following the geometric shape of a plasma reactor. Our transport equation system is discretized using the finite volume approach and resolved by the exponential implicit scheme. In this work, we are used the time splitting method to resolve our system. The model allows us to obtain the axial and radial distributions parameters of the discharge at different times of Radio-Frequency cycle (RF). The principal parameters are the electronic density, ionic density, electric potential, electric field and electronic temperature.
W artykule analizowane jest numerycznie wyładowanie jarzeniowe RF przy niskim ciśnieniu. Wykorztano model Płynu Dwuwymiarowego oparty na pierwszych trzech momentach w rówananiu Boltzmanna, w połączeniu z równania Poissona. Ten układ równań opisana we współrzędnych walcowych w reaktorze plazmowym. Określono główne parametry gęstości elektronowej, gęstości jonowej, potencjał elektryczny, pole elektryczne.
Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę (zadania 2017).
