Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Precision of silicon oxynitride refractive-index profile retrieval using optical characterization

Tytuł:
Precision of silicon oxynitride refractive-index profile retrieval using optical characterization
Współwytwórcy:
Žídek, Karel (fizyk) Autor
Václavík, Jan Autor
Kanclíř, Vít Autor
Data publikacji:
2021
Tematy:
Azotki
Współczynnik załamania światła
Związki tlenu
Wiązka jonów
Cienkie warstwy (technika)
Związki krzemu
Fizykochemiczne metody badawcze
Źródło:
Biblioteka Narodowa
Język:
angielski
Prawa:
http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki
Dostawca treści:
Academica
Artykuł
  Przejdź do źródła  Link otwiera się w nowym oknie
artykuł z czasopisma fizycznego

Bibliografia na stronie 221.

artykuł z czasopisma naukowego

raport z badań

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies