- Tytuł:
- Precision of silicon oxynitride refractive-index profile retrieval using optical characterization
- Współwytwórcy:
-
Žídek, Karel (fizyk) Autor
Václavík, Jan Autor
Kanclíř, Vít Autor - Data publikacji:
- 2021
- Tematy:
-
Azotki
Współczynnik załamania światła
Związki tlenu
Wiązka jonów
Cienkie warstwy (technika)
Związki krzemu
Fizykochemiczne metody badawcze - Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł