Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Procesy trawienia suchego ICP w plazmie BCI3 cienkich warstw HfO2 wytworzonych techniką reaktywnego rozpylania katodowego

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Procesy trawienia suchego ICP w plazmie BCI3 cienkich warstw HfO2 wytworzonych techniką reaktywnego rozpylania katodowego
Współwytwórcy:: Instytut Technologii Elektronowej
Kamińska, Eliana
Wzorek, Marek
Pasternak, Iwona
Kruszka, Renata
Gołaszewska, Krystyna
Taube, Andrzej
Korwin-Mikke, Katarzyna
Piotrowska, Anna
Data publikacji:: 2011
Źródło:: Biblioteka Narodowa
Język:: polski
Prawa:: http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki
Dostawca treści:: Academica
: Artykuł

Przejdź do źródła

Bibliogr.

Streszcz. ang.

Materiały z konferencji: X Krajowa Konferencja Elektroniki; Darłówko Wschodnie, 05.06-09.06.2011.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies

Informacja

Procesy trawienia suchego ICP w plazmie BCI3 cienkich warstw HfO2 wytworzonych techniką reaktywnego rozpylania katodowego