- Tytuł:
- Influence of RF ICP PECVD process parameters of diamond - like carbon films on DC bias and optical emission spectra
- Współwytwórcy:
-
Kovač, Jaroslav
Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
Oleszkiewicz, Waldemar
Tłaczała, Marek
Gryglewicz, Jan
Markowski, Janusz
Srnanek, Rudolf
Kijaszek, Wojciech - Data publikacji:
- 2013
- Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł