- Tytuł:
- The role of fluorine-containing ultra-thin layer in controlling boron thermal diffusion into silicon
- Współwytwórcy:
-
Kalisz, Małgorzata
Ćwil, Michał
Beck, Romuald B.
Barcz, Adam - Data publikacji:
- 2007
- Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-f/
Publikacja udostępniona za zgodą wydawcy. Całość ani żadna z jej części nie może być przetwarzana ani wykorzystywana w celach komercyjnych - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł