- Tytuł:
- Modeling, simulation and calibration of silicon wet etching
- Współwytwórcy:
-
Kociubiński, Andrzej
Duk, Mariusz
Janus, Paweł
Bieniek, Tomasz - Data publikacji:
- 2009
- Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-f/
Publikacja udostępniona za zgodą wydawcy. Całość ani żadna z jej części nie może być przetwarzana ani wykorzystywana w celach komercyjnych - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł