- Tytuł:
- Evaluation of friction coefficient and adhesion properties of silicon carbon nitride films prepared by HWCVD
- Współwytwórcy:
-
Iseda, T. Autor
Kadotani, Yutaka. Autor
Izumi, Akira. Autor
Yamada, T. Autor - Data publikacji:
- 2017
- Tematy:
-
Inżynieria powierzchni
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD)
Tarcie
Adhezja
Węgloazotek krzemu - Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł