- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1979 nr 1(25)
Badanie powierzchniowej warstwy uszkodzonej na płytkach monokrystalicznych krzemu
Badanie powierzchniowej warstwy uszkodzonej na płytkach monokrystalicznych krzemu = Investigation of the damaged surface layer on monocrystalline silicon wafers - Autorzy:
- Łazowy Barbara
- Data publikacji:
- 1980
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
Elektronika - czasopismo - materiały
Electronic - journal - materials
dameged layer
warstwa uszkodzona
silicon wafer
płytka krzemowa
Materiały elektroniczne
Electronic - materials - Źródło:
-
ITME, sygn. dostępny
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5515
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5515 - Język:
- polski
- Prawa:
-
Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access - Linki:
- https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/18458/content  Link otwiera się w nowym oknie
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
- Książka