Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu. - An investigation of the effect of deep chemical etching on the quality of silicon surface

Tytuł:: Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu. - An investigation of the effect of deep chemical etching on the quality of silicon surface
Materiały Elektroniczne 1979 nr 4(28)
Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu
Autorzy:: Łazowy Barbara
Data publikacji:: 1980
Wydawca:: Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
Słowa kluczowe:: powierzchnia krzemu
trawienie chemiczne
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
chemical etching
Elektronika - czasopismo - materiały
silicon surface
Electronic - journal - materials
Źródło:: http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5523
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5523
ITME, sygn. dostępny
Język:: polski
Prawa:: Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access
Linki:: https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/18725/content Link otwiera się w nowym oknie
Dostawca treści:: RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
: Książka

Przejdź do źródła

Bibliogr. s. [39]

s. 33-[39] : il.

s. 33-[39] : il. ; 24 cm.

Informacja