- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1975 nr 4(12)
Badanie jednorodności oporności krzemowych warstw epitaksjalnych = Investigations of homogenity of silicon epitaxial layers resistivity
Badanie jednorodności oporności krzemowych warstw epitaksjalnych - Autorzy:
- Nowysz Karol
- Współwytwórcy:
- Surma Barbara
- Data publikacji:
- 1975
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
warstwa epitaksjalna
Si
Materiały elektroniczne
Electronic - materials
silicon epitaxial layer
oporność
resistivity
Elektronika - czasopismo - materiały
Electronic - journal - materials - Źródło:
-
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5450
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5450
ITME, sygn. dostępny - Język:
- polski
- Prawa:
-
Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access - Linki:
- https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/19885/content  Link otwiera się w nowym oknie
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
- Książka