Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu = Bosch process for silicon plasma etching

Tytuł:: Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu = Bosch process for silicon plasma etching
Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu
Materiały Elektroniczne 2011 T.39 nr 2
Autorzy:: Góra Krzysztof
Współwytwórcy:: Kozłowski Andrzej
Data publikacji:: 2011
Wydawca:: ITME
Słowa kluczowe:: Bosch process
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
współczynnik kształtu
plasma etching
trawienie plazmowe krzemu
high aspect ratio
Electronic - journal - materials
proces Boscha
Elektronika - czasopismo - materiały
ICP OES
Źródło:: http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6054
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6054
Język:: polski
Prawa:: Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access
Linki:: https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/27813/content Link otwiera się w nowym oknie
Dostawca treści:: RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
: Książka

Przejdź do źródła

31-34 s. : il. 30 cm.

Bibliogr. s. 34

Informacja