- Tytuł:
-
Poprawa jakości polerowanych płytek SiC metodą chemicznego utleniania i obróbki termicznej. Badania jakości powierzchni metodami rentgenowskimi
Poprawa jakości polerowanych płytek SiC metodą chemicznego utleniania i obróbki termicznej. Badania jakości powierzchni metodami rentgenowskimi = Improvement of the quality of SiC wafers polished using chemical oxidation and heat treatment. Examination of the quality of the surface using X-ray technoques
Materiały Elektroniczne 2012 T.40 nr 2 - Autorzy:
- Sakowska Halina
- Współwytwórcy:
-
Teklińska Dominika
Wierzchowski Wojciech
Mazur Krystyna
Gała Maciej
Wieteska Krzysztof - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
SiC
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
catalytic oxidation
polishing
Electronic - journal - materials
polerowanie
Elektronika - czasopismo - materiały
utlenianie katalityczne - Źródło:
-
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6369
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6369
ITME, sygn. dostępny - Język:
- polski
- Prawa:
-
Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access - Linki:
- https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/27918/content Link otwiera się w nowym oknie
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
- Książka
Menu główne
Wyszukiwarka
Treść główna
