Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych = Influence of polishing condictins on surface roughness of silicon wafers

Tytuł:: Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych = Influence of polishing condictins on surface roughness of silicon wafers
Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych
Prace ONPMP 1978 z. 2
Proceedings of ONPMP 1978 z. 2
Autorzy:: Czerwińska Anna
Współwytwórcy:: Bielecki Krzysztof
Piątkowski Bronisław
Data publikacji:: 1978
Wydawca:: Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"
Słowa kluczowe:: Elektronika - czasopismo - materiały
surface roughness
Materiały elektroniczne
Electronic materials
chropowatość
polishing
polerowanie
Electronic - journal - material
Źródło:: http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6072
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6072
ITME, sygn. dostępny
Język:: polski
Prawa:: Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access
Linki:: https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/29348/content Link otwiera się w nowym oknie
Dostawca treści:: RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
: Książka

Przejdź do źródła

12-20 s. : il. 24 cm.

Informacja