- Tytuł:
- Molecular design of ultralow-k insulator materials
- Autorzy:
-
Zagorodniy, K.
Hermann, H.
Taut, M. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
ultralow-k dielectrics
interlayer dielectrics
molecular design
dielectric properties
mechanical properties
fullerene-based dielectrics
microelectronics - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł