- Tytuł:
- Computer simulation of sputtering of graphite target in magnetron sputtering device with two zones of erosion
- Autorzy:
-
Bogdanov, R. V.
Kostiukevych, O. M. - Data publikacji:
- 2015
- Słowa kluczowe:
-
Monte Carlo computer simulation
magnetron sputtering
flux of particles
carbon
graphite target
energy of particles - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech