- Tytuł:
- Rozkłady pola elektrycznego wewnątrz mikrofalowego źródła plazmy (MŹP) typu komora rezonansowa zasilana falowodowo
- Autorzy:
-
Nowakowska, H.
Mizeraczyk, J. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
plazmowa obróbka gazów
komora rezonansowa
oprogramowanie Comsol Multiphysics
microwave plasma
resonant-chamber - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech