- Tytuł:
- Selektywne osadzanie warstw GaN na podłożach krzemowych metodą reaktywnego sputteringu
- Autorzy:
-
Stańczyk, B.
Jagoda, A.
Domański, A. W. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
GaN
sputtering
selektywne osadzanie
selective deposition - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech