- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 2003 T.31 nr 1/2
Effect of oxygen nonstoichiometry of ceramic targets on deposition process of TiO2 by DC magnetron sputtering - Autorzy:
- Tomaszewski Henryk
- Data publikacji:
- 2003
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
TiO2
magnetron sputtering
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
rozpylanie magnetronowe
Electronic - journal - materials
Elektronika - czasopismo - materiały - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka