- Tytuł:
-
Technologia wytwarzania i optymalizacja parametrów dyfrakcyjnych elementów optycznych otrzymywanych przy użyciu elektronolitografii. Publiczna obrona rozprawy doktorskiej
Technologia wytwarzania i optymalizacja parametrów dyfrakcyjnych elementów optycznych otrzymywanych przy użyciu elektronolitografii. Publiczna obrona rozprawy doktorskiej = Fabrication technology and optimization of diffractic optical elements obtained by using electron beam lithography
Prace doktorskie - Autorzy:
- Kowalik Andrzej
- Współwytwórcy:
- Jaroszewicz, Zbigniew. Promotor.
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
Elektronika - materiały
diffractive lens
reaktywne trawienie jonowe
reactive ion etching
electron-beam lithography
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
dyfrakcyjny element optyczny
elektronolitografia
diffractive optical element - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka