- Tytuł:
- Evaluation of Friction Coefficient and Adhesion Properties of Silicon Carbon Nitride Films Prepared by HWCVD
- Autorzy:
-
Yamada, T.
Iseda, T.
Kadotani, Y.
Izumi, A. - Data publikacji:
- 2017-03
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
SiCN
HWCVD
friction-coefficient
adhesion strength - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki