- Tytuł:
- The Effect of Silicon Orientation on Thickness and Chemical Bonding Configuration of SiOxNy Thin Films
- Autorzy:
- Ismael, M. M.
- Data publikacji:
- 2013
- Wydawca:
- Przedsiębiorstwo Wydawnictw Naukowych Darwin / Scientific Publishing House DARWIN
- Tematy:
-
Glass assisted CO2 laser
Silicon substrate
SiOxNy Thin Film - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł