- Tytuł:
- Rare Earth Silicate Formation: A Route Towards High-k for the 22 nm Node and Beyond
- Autorzy:
-
Mitrovic, I. Z.
Hall, S. - Data publikacji:
- 2009
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
gadolinium silicate
interfacial layer
lanthanides
rare earth oxides - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki