- Tytuł:
- Evaluation of MOSFETs with crystalline high-k gate-dielectrics: device simulation and experimental data
- Autorzy:
-
Zaunert, F.
Endres, R.
Stefanov, Y.
Schwalke, U. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
crystalline high-k gate dielectric
rare-earth oxide
praseodymium oxide
gadolinium oxide
damascene metal gate
CMP
CMOS process
TSUPREM4
MEDICI
interface state density
carrier mobility
remote coulomb scattering - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł