Wszystkie pola: Chemical oxidation

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: Poprawa jakości polerowanych płytek SiC metodą chemicznego utleniania i obróbki termicznej. Badania jakości powierzchni metodami rentgenowskimi
Improvement of the quality of SiC wafers polished using chemical oxidation and heat treatment. Examination of the quality of the surface using X-ray techniques
Autorzy:: Sakowska, H.
Mazur, K.
Teklińska, D.
Wierzchowski, W.
Wieteska, K.
Gała, M.
Data publikacji:: 2012
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Tematy:: SiC
utlenianie katalityczne
polerowanie
catalytic oxidation
polishing; Pokaż więcej
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji
Modification of mechanical-chemical treatment technology of epi-ready GaSb substrates
Autorzy:: Smoczyński, D.
Data publikacji:: 2014
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Tematy:: GaSb
obróbka mechaniczno-chemiczna
chropowatość
utlenianie
epitaksja
mechanical - chemical treatment
roughness
oxidation
epitaxy; Pokaż więcej
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Szczegóły

Informacja