- Tytuł:
- The use of one-component plasma in the ICP-RIE etching process of periodic structures for applications in photodetector arrays
- Autorzy:
-
Różycka, Marta
Jasik, Agata
Kozłowski, Paweł
Bracha, Krzysztof
Ratajczak, Jacek
Wierzbicka-Miernik, Anna - Data publikacji:
- 2023
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czasopisma i Monografie PAN
- Tematy:
-
ICP-RIE
dry etching
type II InAs/GaSb superlattice
BCl3 - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki