- Tytuł:
- Multi-technique characterisation of InAs-on-GaAs wafers with circular defect pattern
- Autorzy:
-
Boguski, Jacek
Wróbel, Jarosław
Złotnik, Sebastian
Budner, Bogusław
Liszewska, Malwina
Kubiszyn, Łukasz
Michałowski, Paweł P.
Ciura, Łukasz
Moszczyński, Paweł
Odrzywolski, Sebastian
Jankiewicz, Bartłomiej
Wróbel, Jerzy - Data publikacji:
- 2023
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Stowarzyszenie Elektryków Polskich
- Tematy:
-
wafer homogeneity
wafer defect pattern
surface roughness
indium arsenide
beryllium doping - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł