- Tytuł:
-
System optoelektroniczny do kontroli procesów ΜPA CVD
Optoelectronic system for control of ΜPA CVD processes - Autorzy:
-
Bogdanowicz, R.
Gnyba, M.
Wroczyński, P.
Leśniewski, M. - Data publikacji:
- 2008
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
spektroskopia emisyjna
spektroskopia ramanowska
CVD
diagnostyka optyczna in-situ
warstwy diamentopodobne
optical emission spectroscopy
Raman spectroscopy
in situ optical diagnostics
diamond-like carbon films - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł