- Tytuł:
-
Pomiary naprężeń w strukturach MOS metod interferencyjną i za pomocą elipsometrii spektroskopowej
Stress determination of MOS structures by interference and spectroscopic ellipsometry method - Autorzy:
-
Borowicz, L. K.
Borowicz, P.
Rzodkiewicz, W.
Piskorski, K. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
struktury MOS
naprężenie
interferometria
elipsometria
parametry elektryczne
Metal Oxide Semiconductor
MOS structures
stress
interferometry
ellipsometry
electrical parameters - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł