- Tytuł:
-
System do pomiaru ugięcia belek krzemowych stosowanych w mikroczujnikach
System for the silicon beam deflection measurements in microsensor - Autorzy:
- Gołębiowski, J.
- Data publikacji:
- 2008
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
mikro-belki krzemowe
przetworniki optoelektroniczne
silicon microbeam
optoelectronic transducers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł