- Tytuł:
-
Moduł optycznej diagnostyki plazmy stanowiska do badań technologii PVD
Optical plasma diagnostics module stand for PVD processes research - Autorzy:
-
Przybylski, J.
Majcher, A. - Data publikacji:
- 2013
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
OES
spektroskopia emisyjna
system sterowania
plazma
PVD
emission spectroscopy
control system
plasma - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł