- Tytuł:
- Surface forces in chemical mechanical planarization and semiconductor wafer cleaning systems
- Autorzy:
-
Hupka, Lukasz
Nalaskowski, Jakub
Miller, Jan D.
Hupka, Jan - Data publikacji:
- 2021
- Wydawca:
- Polskie Towarzystwo Chemiczne
- Tematy:
-
chemical mechanical planarization
CMP
surface chemistry phenomena
colloidal probe
atomic force microscopy
AFM - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki