- Tytuł:
-
Niektóre defekty obserwowane w homoepitaksjalnych warstwach krzemu
Proceedings of ONPMP 1976 nr 1[7]
Prace ONPMP 1976 nr 1[7]
Niektóre defekty obserwowane w homoepitaksjalnych warstwach krzemu = Some of observed defects in silicon homoepitaxial layers - Autorzy:
- Nossarzewska-Orłowska Elżbieta
- Współwytwórcy:
- Pawłowska Marta
- Data publikacji:
- 1976
- Wydawca:
- Wydaw. Przem. Masz.
- Słowa kluczowe:
-
Si
warstwa epitaksjalna
defekt
Elektronika - czasopismo - materiały
epitaxial layer
defect
Materiały elektroniczne
Electronic materials
Electronic - journal - material - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka