- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1980 nr 3/4(31/32)
Przyczyny rozrzutów rezystywności krzemowych warstw epitaksjalnych w układach wielowarstwowych = The effective causes of the nanuniformity of the silicon epitaxial layers resistivity in multilayer structures
Przyczyny rozrzutów rezystywności krzemowych warstw epitaksjalnych w układach wielowarstwowych - Autorzy:
- Tomaszewski Jacek
- Współwytwórcy:
-
Korec Jacek
Brzozowski Andrzej
Nossarzewska-Orłowska Elżbieta - Data publikacji:
- 1981
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
krzemowa warstwa epitaksjalna
silicon epitaxial layer
rezystywność
resistivity
Elektronika - czasopismo - materiały
Electronic - journal - materials - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka