- Tytuł:
- Controllability Analysis of Reactive Magnetron Sputtering Process
- Autorzy:
-
Ahmad, Z.
Abdallah, B. - Data publikacji:
- 2013-01
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
02.30.Yy
68.55.-a - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł